공정 실습을 진행하는 클린룸에 입소하기 위해 실시된 안전 교육 정리
틀린 내용이 있다면 댓글로 알려주세요.
1. A급 위반, B급 위반, C급 위반, 환경안전규칙위반의 각각의 정의와 처벌 내용은?
1) A급 위반 : 2인 이상의 안전에 위해가 되는 행위, 위반자에 대한 제재 결정은 교수회의,
위반행위에 따라 벌금 부여 (상 150만원, 중 100만원, 하 50만원)
2) B급 위반 : 1인 이상의 안전에 위해가 되는 행위, 위반자에 대한 제재 결정은 운영부장, 벌금 10만원, 벌점 10점
3) C급 위반 : 경미한 위반 행위 위반자에 대한 제재 결정은 행정/장비 실장, 벌금 5만원, 벌점 5점
4) 환경안전 규칙 위반 : 환경안전 관련 규칙을 위반한 행위,
1회 위반 시 위반자에 대한 제재 결정은 운영부장이 결정, 벌금 15만원, 벌점 15점
2회 이상 위반 시 위반자에 대한 제재 결정은 실무운영회의에서 결정, 2주간 청정실 출입 제한과 벌금 25점
2. 입소자가 연구소의 기물을 파손하거나 장비를 고장 또는 부품을 훼손하는 경우가 발생할 때 손해배상에 대한 규정이 명확히 명시된 운영세칙은?
: 연구소 입소 및 체재 및 운영 세칙 제5조 손해배상
3. 누적 벌점 30점이 초과하여 청정실 출입 정지 후 또다시 위반하여 1회 가중처벌 조항을 적용할 경우 B급, C급의 처벌 내용이 어떻게 되는가?
: B급 및 C급_1회 출입 제한, 벌점 및 벌금 1배 추가
4. C1 청정실은 CMOS 소자를 연구하는 청정실이다. 반입할 수 있는 WAFER의 종류와 반입할 수 있는 금속은?
: Wafer의 종류 : 6인치 Si, Quartz wafer (일부는 4인치 가능, SiGe 가능)
Metal의 종류 : Al, Ti, TiN, Ni(silicide 용도), Al2O3, HfO2, W ( Cu 절대 불가)
5. Glass wafer의 재료는 Pyrex 7740 코닝 제품을 사용한다. CMOS 청정실에 반입할 수 없는 이유를 온도와 조성의 관점에서 논하시오.
: 고온에서 유리가 버티지 못하고 Ion implantation 공정에서 이온과 유리가 반응할 수 있다.
6. 아래 위반 사항들에 대한 벌칙의 처벌 규정을 적으시오.
-카드키를 가슴이나 목에 패용하지 않는 행위 : C급 위반
-연구소 카드키를 대여하는 행위, 대여자와 카드키 주인의 각각의 처벌 규정 : C급 위반
-연구소 내부에서 흡연하는 행위 : 퇴소
-스막룸은 준청정실이다. 음식물이나 음료를 반입하는 행위 : C급 위반
-No Bah Wet station 장비를 User 등록 없이 사용하는 행위 : B급 위반
7. 멀티 콘센트 사용 시 멀티 콘센트에 구비되어 있어야 할 2가지 기능은?
: 1) 접지 기능 2) 누전 및 과전류 차단
8. 화공약품이나 Gas를 취급하거나, 취급하기 전 사전에 숙지해야 할 자료는?
: MSDS
9. 일반화학을 성질에 따라 2가지로 분류한다면 각각의 분류 명칭은?
1) 산 2) 염기
10. 화학약품을 혼합할 경우 발생할 수 있는 현상은?
-산과 알칼리를 혼합할 경우 몰당 평균 발열량은? 57kJ/mol
-유기용제와 무기 약품의 혼합할 경우 예를 들어 설명하세요.
: 유기용제와 무기 약품을 혼합할 경우, 폭발물이 형성될 수 있다.
11. HF 약품의 농도가 낮은 증기를 만약에 대기 중에서 15분 정도 직/간접적으로 호흡했을 때 발생하는 초단기 증상 3가지는?
: 1) 피부 화상 2) 호흡곤란 3) 눈 손상
12. 1L의 용기에 1mol의 H+ 농도가 이온화되었다면 pH는 얼마인가? : 0
1L의 용액에 0.002g의 HF가 용해되었다면 농도는 몇 ppm인가? : 2000ppm
13. 비중이 1.84인 황산 용액 5.435ml(순도 98wt%)를 희석해 1L의 용액을 만들었다. pH는?
(황산(H2SO4)은 100% 이온화되었다고 가정한다) : 0.699
14. 산과 알칼리의 리트머스 종이 색상 변화와 중화반응의 생성물은?
HF + NH4OH = NH4F + H2O -> 물, 산(푸른색->붉은색), 알칼리(붉은색->푸른색)
15. 에탄올(C2H5OH)로 착각하여 30ml만 마셔도 사망한 사고가 있다. 시력 손상에 특히 영향을 주는 약품은?
: 메탄올 (CH3OH)
16. 화공약품을 취급할 때 착용해야 하는 안전 장구는?
1) 앞면 보호구 2) 앞치마 3) 보호 장갑
17. 안전 장구를 착용하지 않을 경우 처벌 규정 명과 처벌 내용은? : 환경안전 규칙 위반
18. 20% 이하의 불산은 최장 24시간까지 증상이 나타나지 않을 수 있으며, 피부접촉 부가 화상을 당한 듯 데인 듯하거나 아리는 통증이 느껴질 것이다. 흐르는 물에 15분 이상 세척 후 발라주는 불산 크림의 주성분은 무엇인가?
: 칼슘 글루코네이트
19. 연구소에서 배출되는 폐액 통의 종류를 모두 적으시오.
1) 유기 폐액 통 : 현상액, 솔벤트
2) 무기 폐액 통 : SPM, 인산, HF, 기타 산, 암모니아수, 기타 알칼리, CMP
20. 다음은 연구소에서 제공하는 공용 약품이다. 성상(산성염, Acid, 알칼리, 솔벤트)을 모두 분류하시오.
CH3COOH, 인산, 황산, H2O2, Hydrofluoric acid, 이소프로필알코올, 아세톤, 메탄올,
Trichloroethylene, Ammonium hydroxide, Ammonium fluoride, AZ300, AZ700, HCl, HNO3
1) Acid : CH3COOH, 인산, 황산, Hydrofluoric acid, HCl, HNO3, H2O2,
2) 알칼리 : Ammonium hydroxide, Ammonium fluoride
3) 유기용제 : 이소프로필알코올, 아세톤, 메탄올, Trichloroethylene
4) 산성염 : AZ300, AZ700
오늘은 반도체 공정 실습 안전 교육의 앞부분에 대해서 알아보았습니다.
다음 편에서 이어서 진행하겠습니다.
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